Přímé temperování chemikálií pomocí regulátoru teploty HED

S naším regulátorem teploty s Peltierovými články řady HED můžete přímo regulovat teplotu chemikálií a médií s vysokou čistotou.

Přímá regulace teploty chemikálií pomocí regulátoru teploty s Peltierovými články od SMC umožňuje dosáhnout teplotní stability až +/- 0,1 °C. Všechny části, které přichází do styku s chemikáliemi, jsou vyrobeny z materiálu PFA, čímž je zabráněno vymývání kovových iontů a tím i znečištění média.

Kompaktní konstrukce a nízká hmotnost jsou výsledkem vlastního vývoje výměníku tepla, který jsme speciálně přizpůsobili tvaru Peltierových článků.

Technologie Peltierových článků pro chlazení i ohřev

Peltierův článek je termoelektrický převodník, ve kterém vzniká rozdíl teplot, když jím protéká proud, nebo naopak při vystavení rozdílu teplot v něm vznikne proud. Peltierovy články jsou vhodné pro chlazení i ohřev (otočením směru proudu).

Největšími přednostmi Peltierových článků jsou jejich malé rozměry a nízká hmotnost, umožňují také rychlé přepínání funkce a přesnou regulaci teploty.

Peltierův jev je založen na kontaktu dvou polovodičů, jejichž vodivostní pásy mají různé energetické úrovně. S rostoucí hodnotou proudu účinnost klesá, při dostatečném přívodu a odvodu tepla roste.

Využití regulátoru teploty s Peltierovými články řady HED

Naše regulátory teploty s Peltierovými články řady HED se používají hlavně v polovodičovém průmyslu, například v čisticích zařízeních, nanášecích zařízeních a v systémech mokrého leptání. Ale dají se s ním temperovat i nádrže na chemikálie.

Chemické procesy vyžadují stabilní teplotu

Zejména v polovodičovém průmyslu jsou požadavky na stabilitu teploty v chemických procesech stále náročnější. Stále menší používané struktury vyžadují nejvyšší úroveň čistoty a přesnosti výrobních procesů.

Vodivé molekuly, tedy kovy, se nesmí dostat na wafery (tenké křemíkové destičky, ze kterých se vytvářejí mikročipy). Všechna média nezbytná pro zpracování křemíkové destičky musí být přiváděna v systémech UHP (Ultra High Purity) s ultra vysokou čistotou. Vzhledem k tomu, že i ty nejmenší stopy kovu mezi tenkými spoji způsobují zkrat, jsou tyto jemné struktury vyráběny v čistých prostorách.

Média použitelná pro přímou regulaci teploty

Příklady médií, která mohou být přímo řízena teplotou pomocí regulátorů teploty s Peltierovými články řady HED od SMC, jsou:

• Čistá voda
• Kyselina fluorovodíková
• Kyselina sírová (s výjimkou dýmavé)
• Roztok síranu měďnatého
• Roztok amoniaku, vodíku a peroxidu
• Hydroxid sodný
• Ozonizovaná voda

Rozsah provozních teplot pro uvedená média je od 10 do 60 °C.

Chtěli byste se dozvědět více o našem regulátoru teploty s Peltierovými články řady HED a jeho možnostech využití?

Ozvěte se nám na – náš tým vám rád zodpoví vaše dotazy a vypracuje řešení, které bude ušito přesně na míru vašim požadavkům.