Ventily pro vysoké vakuum a příslušenství

Hochvakuum-Ventile von SMC Naše ventily pro vysoké vakuum dosahují vysoké trvanlivosti a těsnosti, jsou extrémně odolné proti korozi a jsou ovládány pneumaticky, elektromagneticky nebo ručně. Máme modely s velikostí příruby od 16 do 160, ventily pro vysoké vakuum pro tlaky od 10 barů na vstupní straně a 1×10-8 mbarů na výstupní straně a mnoho dalších.

XLAQDQ(H)

Vynikající tepelná vodivost úhlových ventilů pro vysoké vakuum řady XL zaručuje stejnoměrnou teplotu v celém tělese ventilu a minimalizuje nebezpečí kondenzace plynů ve ventilu. Tyto ventily pro vysoké vakuum neobsahují těžké kovy, jako je nikl nebo chrom.

  • Velikost příruby 16-160
  • dlouhá životnost
  • vysoká odolnost proti korozi
  • pneumatické elektromagnetické a ruční provedení

Katalog

Katalog ventilů s velkými přírubami

Konfigurátor produktu

Konfigurátor ventilů s velkými přírubami

Dotaz na SMC

XL * Q, Úhlový ventil pro vysoké vakuum s rychloupínáním

Naše nejprodávanější ventily řady XLA a XLD jsou k dispozici také s rychloupínáním ve verzi XLAQ a XLDQ. To umožňuje rychlé a snadné otevření ventilu bez použití nářadí. To znamená, že ventil lze mnohem rychleji vyčistit nebo provést jeho údržbu. Příruby není nutné demontovat! Řada XL*Q je vyrobena ze speciální hliníkové slitiny. Ta umožňuje mimořádně rovnoměrné zahřátí těla ventilu. To zabraňuje kondenzaci vody ve ventilu, která má negativní vliv na úroveň vakua. Ventily lze objednat také s topným tělesem. Kromě mimořádně snadné údržby ventil boduje dlouhou životností a vysokou odolností proti korozi. Nechte se tímto ventilem přesvědčit!

Katalog

Konfigurátor XLAQ

Konfigurátor XLDQ

Dotaz na SMC

XLD, Úhlový ventil pro vysoké vakuum pro řízené vypouštění vzduchu

Částice mohou být ve vysoko-vakuových komorách velkým problémem – měli by se rozvířit co nejméně. Toho můžete dosáhnout pomalým a jemným snižováním tlaku v komoře. Proto společnost SMC vyvinula řadu XLD. Ventil lze otevřít ve dvou stupních. V závislosti na zvoleném stupni čerpadlo odčerpává rychleji nebo pomaleji.

Řada XLD je součástí rodiny XL* a splňuje všechna kritéria kvality.

Katalog

Konfigurátor

Dotaz na SMC

XM_XYHTěleso ventilů řady XM (úhlový ventil pro vysoké vakuum) a XY (In-line nebo potrubní ventil pro vysoké vakuum) je vyrobeno z nerezové oceli. Typy XM a XL mají stejné rozměry, a proto je možné je podle potřeby zaměňovat. Ventily jsou přesně odlévané v kusové výrobě, která zabraňuje vadám, jako jsou plynové kapsy nebo porézní místa.

 

XSA-A-P01-5

Tento ventil určený pro vysoké vakuum odolá podle provedení provoznímu tlaku od maximálních 10 barů (na vstupní straně) a minimálnímu provoznímu tlaku od 10-8 mbar (na výstupní straně). Je odolný proti korozi, lehký a provozně energeticky velmi účinný.

Použití:

  • Přívody plynu od procesních komor
  • Výroba potravin
  • Polovodičový průmysl
  • a mnoho dalších

Katalog

Konfigurátor produktu

Dotaz na SMC

xvd2

Pokud je komora pro vysoké vakuum odvzdušněna příliš rychle (čistý vzduch/N2), dojde k turbulencím a spolu s vysokým vakuem se do komory dostanou i nežádoucí částice.

Nastavitelný ventil pro vysoké vakuum XVD2 umožňuje pomalé, řízené, a tím prakticky bez turbulencí vytvořené vysoké vakuum v komoře. Tím je zajištěno udržení co nejmenšího možného počtu cizích částic v komoře.

  • Ventily pro vysoké vakuum, nastavitelné dvoustupňové odvzdušnění
  • Provozní tlak: 2 bary-10-8 mbar
  • Provozní médium: dusík, vzduch
  • Funkce ventilu: bez tlaku uzavřený (normálně zavřený)
    Materiál: SUS316L, SUS304, FKM

Katalog

Konfigurátor produktu

Dotaz na SMC

 

XGT(H)Komorový uzavírací ventil řady XGT nabízí vysokou kvalitu pro uzavírání procesních vysokovakuových komor.
Další přednosti:

  • Minimální průnik cizích částic
  • volitelně se zámkem krajní polohy
  • vysoká trvanlivost
  • pro křemíkové destičky 200 mm a 300 mm

Použití: Při výrobě polovodičů a solárních článků

Katalog

Konfigurátor produktu

Dotaz na SMC

Bezpístnicový válec pro komory s vysokým vakuem byl vyvinut speciálně pro minimální tvorbu cizích částic, malou netěsnost a odfuk.

  • Průměr válce 15 mm a 32 mm
  • Válec pro transportní systémy v jejich komorách s vysokým vakuem
  • nejlepší kvalita a bezpečnost pro Váš proces
  • Válec optimalizovaný pro transport křemíkových destiček a jiných polotovarů ve vakuových komorách

Katalog

Konfigurátor produktu

Dotaz na SMC

ZSE80-A-P01-1

ZSE80 je k dostání s výstupy PNP nebo NPN a volitelně také s analogovým napěťovým nebo proudovým výstupem snímače. Dvoubarevný displej umožňuje na první pohled rozeznat odlišné zobrazované hodnoty. Tento výrobek je k dispozici se dvěma způsoby připojení (na zadní nebo spodní straně) a s různými závity (R, NTP, RC, G, URJ (kompatibilní s VCR®) TSJ (kompatibilní se Swagelok®). S výstupy PNP nebo NPN a velkým výběrem způsobů připojení. Krytí: IP65

Katalog

Konfigurátor produktu

Dotaz na SMC

SF filtr pro ultra čisté plyny

Filtry řady SF jsou určeny pro použití v čistých prostorách. Všechny části filtru jsou sestaveny, zkontrolovány a zabaleny v čistém prostoru. U řady SF si můžete vybrat mezi dvěma filtračními elementy: membránou nebo spékaným kovem. Model s membránou má úroveň filtrace 0,01 µm (účinnost 99,9 %). Úroveň filtrace kovového prvku (SFB2) je 120 µm (volitelně: 1 – 100 µm). Všechny filtry jsou před odesláním testovány ve výrobě.

  • Maximální průtok: 26 l/min až 300 l/min (membrána) 400 l/min (spékaný kov)
  • Tlak: vakuum 1.3 x 10-6 kPa – 1.0 MPa
  • Teplota: 5 °C až 60 °C / 120 °C
  • K dispozici jsou modely s vyměnitelným filtračním prvkem
  • Připojení: URJ (montáž v souladu s VCR ®), TSJ (montáž v souladu s Swagelok ®), Rc, NPT, M5

Katalog

Konfigurátor produktu (SFA, SFB, SFC)

Dotaz na SMC

SMC Fluidcontrol Ansteuerung, ZubehörChcete váš proces udělat bezpečný a efektivní s pomocí pneumatického řízení určeného k přímé montáži?

Kontaktujte nás!

Zde najdete více informací

Komplexní řešení

Díky našim dlouholetým zkušenostem máme ucelenou nabídku od (mimo jiné pneumatického) ovládání, přes ventily, až po tlakový spínač. S námi získáte řešení vše v jednom pro každý z vašich požadavků – a je úplně jedno, jak specifická budou vaše přání..
Více informací

Zákaznické služby

Služba pro zákazníky je důležitá! Máme všechna řešení a provedení, která jsou šita přesně na míru vašim přáním a potřebám. Přidejte se k nám a užijte si důvěru, kterou nám projevují naši dlouholetí zákazníci. Jak se k nám dostat

Mnoho moderních výrobních postupů našich zákazníků vyžaduje speciální komponenty pro obor vysokého vakua. Například pro

  • Výrobu mikročipů,
  • Výrobu solárních článků,
  • Pokovování nástrojů,
  • pro analytická zařízení, jako jsou hmotnostní spektroskopy a elektronové mikroskopy nebo
  • při hledání netěsností a řady dalších

Aplikace vyžadující vysoké vakuum kladou značné nároky na materiál a konstrukci. Proto naši inženýři po celém světě pracují na hledání nejlepších řešení Vašich potřeb.

Výhody pro Vás

Každý systém s vysokým vakuem vyžaduje ventily pro vysoké vakuum té nejvyšší kvality. Díky vynikající tepelné vodivosti zůstává teplota celého tělesa ventilu konstantní, tvorba usazenin z procesních plynů uvnitř ventilů je výrazně snížena.

Kromě toho nabízíme řady ventilů s volitelným topným článkem. Bodují minimálním odfukem. Díky nízkému odfuku může být použito čerpadlo
s nižším výkonem a doba odsávání vzduchu (= doba dosažení požadovaného vakua) se zkrátí. Pro vysoké vakuum nabízíme ventily z hliníku, které neobsahují žádné těžké kovy, jako např. nikl a chrom. Tyto těžké kovy mohou způsobit kontaminaci a tím i výrazně zhoršit ekonomiku procesu výroby, např. mikročipů (křemíkových destiček).

Naše ventily jsou vyráběny ze speciální hliníkové slitiny a také nerezové oceli v různých provedeních – od klasického úhlového ventilu, přes In-line ventily, uzávěry, elektromagnetické ventily, až po progresivní ventil pro automatické jednotné odsávání. Naše ventily jsou k dispozici v různých velikostech a verzích příruby.

Progresivní myšlenky pro Vaše systémy

Často nevystačíme s tím, co může nabídnout běžný trh. To je důvod, proč naši inženýři náruživě vyvíjejí nové a inovativní produkty.

Vyvinuli například úhlový ventil pro vysoké vakuum řady XL * Q s rychlou demontáží. Co je na tom zvláštního? Vakuový ventil se nemusí kvůli údržbě a servisu vymontovávat, a proto je jeho čištění výrazně rychlejší a hospodárnější. Dalším výsledkem vývoj SMC je kompaktní dvoustupňový odvzdušňovací ventil XVD2, který umožňuje vytvoření vakua prakticky bez turbulencí.

Máte vyšší cíle, které přesahují obvyklé standardy? Pak přijďte do společnost SMC – naši specialisté na automatizaci pro Vás mají vždy to správné řešení. Využijte naše vysoce kvalitní, moderní produkty pro efektivní výrobu ve vaší firmě.