Ventily pro vysoké vakuum a příslušenství

Hochvakuum-Ventile von SMC Naše ventily pro vysoké vakuum dosahují vysoké trvanlivosti a těsnosti, jsou extrémně odolné proti korozi a jsou ovládány pneumaticky, elektromagneticky nebo ručně. Máme modely s velikostí příruby od 16 do 160, ventily pro vysoké vakuum pro tlaky od 10 barů na vstupní straně a 1×10-8 mbarů na výstupní straně a mnoho dalších.

XLAQDQ(H)Vynikající tepelná vodivost úhlových ventilů pro vysoké vakuum řady XL zaručuje stejnoměrnou teplotu v celém tělese ventilu a minimalizuje nebezpečí kondenzace plynů ve ventilu. Tyto ventily pro vysoké vakuum neobsahují těžké kovy, jako je nikl nebo chrom, a mají minimální odfuk.

  • Velikost příruby 16-160
  • vysoká životnost
  • minimální odfuk
  • vysoká odolnost proti korozi
  • pneumatické elektromagnetické a ruční provedení

Katalog

Konfigurátor produktu

Dotaz na SMC

XM_XYHTěleso ventilů řady XM (úhlový ventil pro vysoké vakuum) a XY (In-line nebo potrubní ventil pro vysoké vakuum) je vyrobeno z nerezové oceli. Typy XM a XL mají stejné rozměry, a proto je možné je podle potřeby zaměňovat. Ventily jsou přesně odlévané v kusové výrobě, která zabraňuje vadám, jako jsou plynové kapsy nebo porézní místa.

 

XSA-A-P01-5

Tento ventil určený pro vysoké vakuum odolá podle provedení provoznímu tlaku od maximálních 10 barů (na vstupní straně) a minimálnímu provoznímu tlaku od 10-8 mbar (na výstupní straně). Je odolný proti korozi, lehký a provozně energeticky velmi účinný.

Použití:

  • Přívody plynu od procesních komor
  • Výroba potravin
  • Polovodičový průmysl
  • a mnoho dalších

Katalog

Konfigurátor produktu

Dotaz na SMC

xvd2

Pokud je komora pro vysoké vakuum odvzdušněna příliš rychle (čistý vzduch/N2), dojde k turbulencím a spolu s vysokým vakuem se do komory dostanou i nežádoucí částice.

Nastavitelný ventil pro vysoké vakuum XVD2 umožňuje pomalé, řízené, a tím prakticky bez turbulencí vytvořené vysoké vakuum v komoře. Tím je zajištěno udržení co nejmenšího možného počtu cizích částic v komoře.

  • Ventily pro vysoké vakuum, nastavitelné dvoustupňové odvzdušnění
  • Provozní tlak: 2 bary-10-8 mbar
  • Provozní médium: dusík, vzduch
  • Funkce ventilu: bez tlaku uzavřený (normálně zavřený)
    Materiál: SUS316L, SUS304, FKM

Katalog

Konfigurátor produktu

Dotaz na SMC

 

XGT(H)Komorový uzavírací ventil řady XGT nabízí vysokou kvalitu pro uzavírání procesních vysokovakuových komor.
Další přednosti:

  • Minimální průnik cizích částic
  • volitelně se zámkem krajní polohy
  • vysoká trvanlivost
  • pro křemíkové destičky 200 mm a 300 mm

Použití: Při výrobě polovodičů a solárních článků

Katalog

Konfigurátor produktu

Dotaz na SMC

Bezpístnicový válec pro komory s vysokým vakuem byl vyvinut speciálně pro minimální tvorbu cizích částic, malou netěsnost a odfuk.

  • Průměr válce 15 mm a 32 mm
  • Válec pro transportní systémy v jejich komorách s vysokým vakuem
  • nejlepší kvalita a bezpečnost pro Váš proces
  • Válec optimalizovaný pro transport křemíkových destiček a jiných polotovarů ve vakuových komorách

Katalog

Konfigurátor produktu

Dotaz na SMC

ZSE80-A-P01-1

ZSE80 je k dostání s výstupy PNP nebo NPN a volitelně také s analogovým napěťovým nebo proudovým výstupem snímače. Dvoubarevný displej umožňuje na první pohled rozeznat odlišné zobrazované hodnoty. Tento výrobek je k dispozici se dvěma způsoby připojení (na zadní nebo spodní straně) a s různými závity (R, NTP, RC, G, URJ (kompatibilní s VCR®) TSJ (kompatibilní se Swagelok®). S výstupy PNP nebo NPN a velkým výběrem způsobů připojení. Krytí: IP65

Katalog

Konfigurátor produktu

Dotaz na SMC

SMC Fluidcontrol Ansteuerung, ZubehörChcete váš proces udělat bezpečný a efektivní s pomocí pneumatického řízení určeného k přímé montáži?

Kontaktujte nás!

Zde najdete více informací

Komplexní řešení

Díky našim dlouholetým zkušenostem máme ucelenou nabídku od (mimo jiné pneumatického) ovládání, přes ventily, až po tlakový spínač. S námi získáte řešení vše v jednom pro každý z vašich požadavků – a je úplně jedno, jak specifická budou vaše přání..
Více informací

Zákaznické služby

Služba pro zákazníky je důležitá! Máme všechna řešení a provedení, která jsou šita přesně na míru vašim přáním a potřebám. Přidejte se k nám a užijte si důvěru, kterou nám projevují naši dlouholetí zákazníci. Jak se k nám dostat

Mnoho moderních výrobních postupů našich zákazníků vyžaduje speciální komponenty pro obor vysokého vakua. Například pro

  • Výrobu mikročipů,
  • Výrobu solárních článků,
  • Pokovování nástrojů,
  • pro analytická zařízení, jako jsou hmotnostní spektroskopy a elektronové mikroskopy nebo
  • při hledání netěsností a řady dalších

Aplikace vyžadující vysoké vakuum kladou značné nároky na materiál a konstrukci. Proto naši inženýři po celém světě pracují na hledání nejlepších řešení Vašich potřeb.

Výhody pro Vás

Každý systém s vysokým vakuem vyžaduje ventily pro vysoké vakuum té nejvyšší kvality. Díky vynikající tepelné vodivosti zůstává teplota celého tělesa ventilu konstantní, tvorba usazenin z procesních plynů uvnitř ventilů je výrazně snížena.

Kromě toho nabízíme řady ventilů s volitelným topným článkem. Bodují minimálním odfukem. Díky nízkému odfuku může být použito čerpadlo
s nižším výkonem a doba odsávání vzduchu (= doba dosažení požadovaného vakua) se zkrátí. Pro vysoké vakuum nabízíme ventily z hliníku, které neobsahují žádné těžké kovy, jako např. nikl a chrom. Tyto těžké kovy mohou způsobit kontaminaci a tím i výrazně zhoršit ekonomiku procesu výroby, např. mikročipů (křemíkových destiček).

Naše ventily jsou vyráběny ze speciální hliníkové slitiny a také nerezové oceli v různých provedeních – od klasického úhlového ventilu, přes In-line ventily, uzávěry, elektromagnetické ventily, až po progresivní ventil pro automatické jednotné odsávání. Naše ventily jsou k dispozici v různých velikostech a verzích příruby.

Progresivní myšlenky pro Vaše systémy

Často nevystačíme s tím, co může nabídnout běžný trh. To je důvod, proč naši inženýři náruživě vyvíjejí nové a inovativní produkty.

Vyvinuli například úhlový ventil pro vysoké vakuum řady XL * Q s rychlou demontáží. Co je na tom zvláštního? Vakuový ventil se nemusí kvůli údržbě a servisu vymontovávat, a proto je jeho čištění výrazně rychlejší a hospodárnější. Dalším výsledkem vývoj SMC je kompaktní dvoustupňový odvzdušňovací ventil XVD2, který umožňuje vytvoření vakua prakticky bez turbulencí.

Máte vyšší cíle, které přesahují obvyklé standardy? Pak přijďte do společnost SMC – naši specialisté na automatizaci pro Vás mají vždy to správné řešení. Využijte naše vysoce kvalitní, moderní produkty pro efektivní výrobu ve vaší firmě.